纳米翘曲度测量仪
设备名称
设备型号
生产厂家
出厂日期
2000.7
单价 (元)
资产编号
存放地点
技 术 指 标
最小分辨率:10 nm
测 试 项 目
可用于封装与器件制造过程的微纳翘曲测量(离面变形)在线测量,以及残余应力计算与分析