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纳米翘曲度测量仪

设备名称

纳米翘曲度测量仪

 

设备型号

 

生产厂家

 

出厂日期

2000.7

单价 ()

 

资产编号

 

存放地点

 

技 术 指 标

最小分辨率:10 nm

测 试 项 目

可用于封装与器件制造过程的微纳翘曲测量(离面变形)在线测量,以及残余应力计算与分析