光学头、母盘及其组件测试系统
设备名称
设备型号
生产厂家
出厂日期
单价 (元)
资产编号
存放地点
F区103
技 术 指 标
测 试 项 目
光学头、盘片及其组件光学性能测试(光斑尺寸,准直性,激光功率);
样品表面形貌,盘片物理特性测试
备 注
自制系统,含有激光功率机,莱卡显微镜,CCD及测试分析软件