台阶仪

技术指标

台阶重复精度：6Å 或0.1％（1σ）
扫描范围：直径200nm（7.87inches）；厚度90nm（3.54inches）
最小台阶：<1nm
探针半径：2.5μm
探针接触力：<2mg
型号：Dektak 150

应用范围

该仪器可为多种不同表面提供全面的二维和三维形貌分析特性，包括半导体硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、精加工表面、光电子薄膜/化学涂层、生物医学器件和平板显示。三级扫描精度模式，能够精确可靠地量测出台阶高度、表面粗糙度、细微波纹度及其他基片形貌参数。

备 注

附件：减震平台；环境保护罩