环境扫描电子显微镜

基本信息

设备型号：Quanta 200
生产厂家：荷兰FEI公司

技术指标

分辨率：高真空模式 3.0nm at 30kV, 10nm at 3kV；低真空模式 3.0nm at 30kV,

12nm at 3kV；

环境真空模式 3.0nm at 30kV ;背散射电子像 4.0nm at 30kV

样品室压力最高达2600Pa

加速电压200V ~ 30kV，可连续调节

样品台移动范围：X=Y=50mm

分冷台和热台操作。冷台：温度检测精度0.5℃；操作温度范围为：-5℃ ~ 60℃。

热台：操作温度最高为1000℃。

EDAX能谱能量分辨率130eV，成分范围B~U，束斑影响区1μm左右
 

应用范围

纳米材料、复合材料、陶瓷材料、金属材料、高分子材料、薄膜材料、建筑材料、生物材料、电子材料、导体与非导体地矿、考古等表面微观形貌观察及成分分析。
 

备 注

设备编号：G5-02-09