激光干涉仪

基本信息

设备型号：GPI-XP HR 4″-6″Horizontal System
生产厂家：美国ZYGO公司

技术指标

平面测量精度：       λ/20　（≤Φ150）

球面及波前测量精度：  λ/10

平面及系统最大测量口径：  ≤Φ150

凸球面最大测量口径：  ≯Φ135

凹球面最大测量口径：  ≮Φ500

曲率半径测量范围：　  ＜2000mm

曲率半径测量分辨率：  ±0.005mm

 

精确性：PV值变化范围＜0.01λ

　　　　RMS值变化范围＜0.002λ

重复性：PV值标准偏差＜0.02λ

　　　　RMS值标准偏差＜0.004λ

应用范围

可以高精度地测量光学平面的平面度；

测量凸球面、凹球面的面形精度，并输出Zernike或Seidel多项式；

测量透镜或光学系统的波前畸变，进行成像质量分析，配合光学系统精密装配，控制光学系统的成像质量；

可以测量凸球面、凹球面的曲率半径；

可以测量光学材料的均匀性。
 

备 注

设备编号：G5-04-04